CIF掃描電鏡等離子清洗機

    CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程等離子清洗源 設計,清洗快速、高效、低轟擊損傷,主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內碳氫化合物的清洗。

    更新時間:2024-03-19 09:53:02
  1. 詳細信息

產品特點

◆ ?遠程離子清洗源

??清洗快速、高效

◆ ?低轟擊損傷

技術參數

?

產品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40(CF40)

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz 射頻電源,射頻功率 5-150W 可調

遠程等離子源,自動匹配器

氣體控制

標配單路質量流量計(MFC)可選雙路。0-500sccm,自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7 寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

電源 / 功率

AC220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, ??氫氣純度﹥ 99.999%,輸出流量 0-500SCCM

質量保證

二年質保,終身維護

產品尺寸

L320xW385xH465mm

包裝尺寸

L440xW535xH725mm

整機重量

25

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