CIF實驗室型等離子清洗機CPC-F系列

    CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設備,合理的結構設計,優化的腔體尺寸,使得處理樣品更大,適用范圍更廣。 產品性能穩定,操作簡單方便,易維護。

    更新時間:2024-04-09 09:11:47
  1. 詳細信息
應用領域:
等離子清洗設備廣泛應用于材料學、微電子、半導體、線 路板、LED、微流控、光電太陽能、生物醫學等領域,主要用 于材料表面進行清洗、改性、刻蝕等目的。1710742555393.jpg

 產品特點

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面,自動控制監測工藝參數狀態,20 個配方程序,工藝數據可存儲追溯。

◆  PLC 控制整個清洗過程,手動、自動兩種工作模式。

◆  用美國德威爾(Dwyer)氣體浮子流量計或質量流量計  (CPC-FM),可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體,氣體控制準確。

◆  氣體返填吹掃,HEPA 高效過濾,防止二次污染。

◆  316 不銹鋼、石英真空艙可選擇,全真空管路系統采用316 不銹鋼材質,耐腐蝕無污染。

◆  采用 60 度傾角操作面板設計,符合人體功能學,操作方 便,界面友好。

◆  上控制下艙體結構設計,結構緊湊,占地空間小。

◆  內凹式前面板設計,有效保護流量計和艙門不易損壞。

◆  處理快速高效均勻,無污染,工藝重復性好。

◆  樣品處理溫度低,無熱損傷和熱氧化。

◆  安全保護,艙門打開,自動關閉電源。

技術參數

型號

CPC-F

CPC-Fplus

CPC-FM

CPC-FMplus

射頻電源

40KHz

13.56MHz

40KHz

13.56MHz

射頻功率

0-600W

0-150W

0-600W

0-150W

匹配器

自動匹配器

自動匹配器

激發方式

電容式或電感耦合(ICP)

電容式或電感耦合(ICP)

氣體控制

雙浮子流量計

單路 MFC(可選兩路)

艙體尺寸

D200xΦ155mm

D200xΦ155mm

艙體材質

不銹鋼或石英玻璃

不銹鋼或石英玻璃

艙體容積

3.8L-5L

3.8L-5L

有效處理尺寸

L200xW155mm

L200xW155mm

時間設定

9999 秒

9999 秒

真空泵

抽速 4m3/h

抽速 4m3/h

氣體穩定時間

1 分鐘

1 分鐘

真空度

100pa 以內

100pa 以內

  

AC220V 50/60Hz 766/316W

AC220V 50/60Hz  752/302W

產品尺寸

L440xW410xH455mm

L440xW410xH455mm

包裝尺寸

L560xW560xH685mm

L560xW560xH685mm

整機重量

32kg

32kg

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